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納米型顯微CT柱狀測試圖樣模體-MicroCT Bar Pattern NANO Phantom

發(fā)布時間:2023-12-18
納米型顯微CT柱狀測試圖樣模體(MicroCT Bar Pattern NANO Phantom),內(nèi)含兩個3 x 3 mm² 硅質(zhì)芯片,分別水平和垂直安裝,通過塑料支架固定在模體的中心位置。雙硅芯片上均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點狀圖樣,線寬和點直徑從1µm到15µm不等,結(jié)構(gòu)的深度在5和15µm 之間變化。用戶僅通過一次曝光和測量,就可以對整個芯片的中心以及外圍的分辨率做出評估。通過最直接、可見的方式評估3D高分辨率顯微CT(Micro-CT)系統(tǒng)的平面及軸向空間分辨率。
產(chǎn)品參數(shù)
產(chǎn)地:德國
品名:MicroCT-Barpattern-NANO
模體參數(shù)
直徑:5.2mm
高度:19.1mm
材料:致密塑料

模體尺寸圖
芯片參數(shù)
直徑:2.96mm
高度:0.66mm
材料:硅
芯片結(jié)構(gòu):1-15µm
結(jié)構(gòu)深度:5-15µm
對比材料 :硅/空氣

芯片擺放示意圖

芯片尺寸示意圖
芯片上的線型和點型
芯片上的線寬/點寬與線對數(shù)量的對應(yīng)
1 至 15 µm 結(jié)構(gòu)的圖案
顯微 CT 掃描(3.5 µm 體素大?。?/div>
芯片結(jié)構(gòu)劃分
芯片結(jié)構(gòu)分布
線性/點形分布
芯片結(jié)構(gòu)描述
部分1結(jié)構(gòu)
部分1結(jié)構(gòu)圖
部分2結(jié)構(gòu)

部分2結(jié)構(gòu)圖
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